永喬科技有限公司

Novellus heater block維修

Novellus heater block維修



規格 原廠型號
150mm  
Notch General                             19-00155-01
Non Notch General      19-00155-00
Ground Hole 12EA                       19-00155-01
SLIT 3Line at Total 7 Stations   19-00155-01
SLIT 5Line at Total 7 Stations   19-00155-01
28 Pinned at Total 7 Stations      19-032015-01
4 Pinned at First Station              19-032015-02
56 Pinned at Total 7 Stations      19-024371-01
200mm  
Non Notch General                                         19-00154-00
SLIT 5Line at All 6 Stations                          19-00154-00-S
SLIT 5/3Line at All 6 Stations                      19-00154-00-S
Notch General                                                   19-00154-01
24 Pinned at All 6 Stations                              19-024227-00
4 Pinned at First Station                                  19-024227-01
4 Pinned at First Station & SLIT                   19-024227-01-S
24 Pinned at All 6 Stations & SLIT                19-024227-01-SP
4 Pinned(8″) at Zero Station                            19-024227-02
4 Pinned(6″) at First Station                            19-027038-01
4 Pinned(6″) at First Station & SLIT              19-027038-01-S