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光阻溶剂回收系统

光阻溶剂回收系统



Thinner Recycle System(TRS系統)

 

TRS系统利用通过真空 PUMP 排出 solvent 温度约 140℃,经过冷凝器 (Cool Trap),

将 solvent 由气态冷凝为液态,达到回收效果。

 

 

厂务端需求

条件说明

PCW水温

入口:18℃

PCW流量

50 LPM

电力规格

1ψ200V/60Hz

耗电量

2.8A

Drain Port

1/2

设备规格

尺寸

1300x2400x1600mm

运转噪音

70 dB(A)

处理风量

5 ~ 30CMM

设备压差

750Pa

回收能力(提供计算式)

> 60%

滤心规格

0.5μm

除水器规格

8*12 mesh

安全措施

1.Solvent tank压力监视与卸压保护
2.漏液侦测
3.蜂鸣警报/灯号显式运转状态

设备制造地点

Taiwan